ऑर्गेनोसिलिकॉन इंटरमीडिएट · सिलिलेटिंग एजेंट
हेक्सामेथिलडिसिलाज़ेन (HMDS)
(बीआईएस (ट्राइमेथिलसिलिल) एमाइन / एचएमडीएस निर्जल)
| CAS संख्या। | 999-97-3 |
| आईयूपीएसी नाम | 1,1,1,3,3,3-हेक्सामेथिलडिसिलाज़ेन |
| समानार्थी शब्द | एचएमडीएस, हेक्सा मिथाइल डिसिलाज़ेन, 1,1,1,3,3,3-हेक्सामेथिलडिसिलाज़ेन, बीआईएस(ट्राइमेथाइलसिलिल)अमाइन, हेक्सामेथिलसिलाज़ेन, एन-(ट्राइमेथाइलसिलिल)ट्राइमेथाइलसिलामाइन |
| आण्विक सूत्र | C₆H₁₉NSi₂ [(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃] |
| आणविक वजन | 161.39 ग्राम/मोल |
| एचएस कोड | 2931900090 |
| ग्रेड उपलब्ध | औद्योगिक फार्मास्युटिकल इलेक्ट्रॉनिक (5N / 6N) |
हेक्सामेथिलडिसिलज़ेन (HMDS) क्या है? एक अवलोकन
हेक्सामेथिलडिसिलाज़ेन (HMDS), के रूप में भी लिखा गया हैहेक्सा मिथाइल डिसिलज़ेनया1,1,1,3,3,3-हेक्सामेथिलडिसिलाज़ेन(सीएएस 999-97-3), एक रंगहीन, अत्यधिक वाष्पशील ऑर्गेनोसिलिकॉन यौगिक है जिसमें अमोनिया जैसी गंध होती है।एचएमडीएस का फुल फॉर्म:हेक्सामेथिलडिसिलाज़ेन - एक नाम जो नाइट्रोजन परमाणु द्वारा जुड़े दो ट्राइमेथिलसिलिल समूहों की संरचना को दर्शाता है:(CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃. यह अद्वितीय डिसिलज़ेन आर्किटेक्चर प्रोटिक कार्यात्मक समूहों (हाइड्रॉक्सिल, अमीनो, कार्बोक्सिल) और उत्कृष्ट सतह हाइड्रोफोबाइजेशन के कुशल सिलिलेशन को सक्षम बनाता है, जिससे एचएमडीएस सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी, फार्मास्युटिकल संश्लेषण, उन्नत सामग्री और सतह उपचार उद्योगों में एक अपूरणीय रासायनिक अभिकर्मक बन जाता है।
ट्राइमिथाइलक्लोरोसिलेन (टीएमसीएस) जैसे पारंपरिक सिलिलेटिंग एजेंटों के विपरीत, एचएमडीएस हल्के प्रतिक्रिया की स्थिति, उच्च सिलिलेशन उपज और उच्च {{2}अंत विनिर्माण के लिए महत्वपूर्ण लाभ प्रदान करता है जहां सख्त शुद्धता और प्रक्रिया की सफाई की आवश्यकता होती है। एचएमडीएस अमोनिया छोड़ने के लिए नमी के साथ तेजी से प्रतिक्रिया करता है, इसलिए सभी ग्रेडों को नाइट्रोजन संरक्षण के तहत संभाला और संग्रहित किया जाना चाहिए।
हम प्रतिस्पर्धी कीमतों पर औद्योगिक, फार्मास्युटिकल और इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड एचएमडीएस की आपूर्ति करने के लिए अग्रणी चीनी निर्माताओं - के साथ साझेदारी करते हैं, जिसमें ग्राम स्तर के अभिकर्मक ड्रम से लेकर औद्योगिक आईबीसी टोट्स तक लचीली पैकेजिंग के साथ, यूरोप, उत्तरी अमेरिका, दक्षिण पूर्व एशिया और मध्य पूर्व में खरीदारों की सेवा के लिए एसएमआईसी और यांग्त्ज़ी मेमोरी - द्वारा प्रमाणित सुविधाएं शामिल हैं।
एचएमडीएस के भौतिक एवं रासायनिक गुण
एचएमडीएस विशिष्टताएं - सभी ग्रेड
| विनिर्देश | औद्योगिक श्रेणी भूतल उपचार / भराव |
फार्मास्युटिकल ग्रेड औषधि संश्लेषण (जीएमपी) |
इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी |
|---|---|---|---|
| शुद्धता (जीसी) | 98.0% से अधिक या उसके बराबर | 99.5% से अधिक या उसके बराबर | 99.999% से अधिक या उसके बराबर (5N) उन्नत नोड्स के लिए 6N तक |
| पानी की मात्रा | 0.1% से कम या उसके बराबर | 0.02% से कम या उसके बराबर | 0.005% से कम या उसके बराबर (50 पीपीएम से कम या उसके बराबर) |
| रंग (पं-Co) | 30 से कम या उसके बराबर | 10 से कम या उसके बराबर | 5 से कम या उसके बराबर |
| क्वथनांक | 125-127 डिग्री | 126.0-126.5 डिग्री | 126.2 ± 0.2 डिग्री |
| फ़्लैश प्वाइंट | 17 डिग्री (बंद कप) | 17 डिग्री (बंद कप) | 17 डिग्री (बंद कप) |
| धातु अशुद्धियाँ | निर्दिष्ट नहीं है | एकल आयन 10 पीपीएम से कम या उसके बराबर | एकल आयन 1 पीपीबी से कम या उसके बराबर (14एनएम नोड्स के लिए पीपीटी स्तर) |
| शेल्फ जीवन | 6 महीने (एन₂-सीलबंद) | 12 महीने (एन₂-सीलबंद, अंधेरा) | 18 महीने (अल्ट्रा-क्लीन एन₂-सीलबंद) |
| पैकेजिंग | 180 किलो स्टील ड्रम 1000 किलो आईबीसी टोटे |
20L एचडीपीई ड्रम 200L N₂-सीलबंद स्टील ड्रम |
10L क्वार्ट्ज़-लाइन वाला ड्रम 200L अल्ट्रा-क्लीन स्टील ड्रम |
जीबी/टी 30301-2013, रीच और टीएससीए का अनुपालन करता है। सीओए, एसडीएस/एमएसडीएस, और तृतीय-पक्ष परीक्षण रिपोर्ट अनुरोध पर उपलब्ध हैं।
एचएमडीएस उपयोग और अनुप्रयोग क्षेत्र
1. सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी - फोटोरेसिस्ट आसंजन प्रमोटर
एचएमडीएस उद्योग का मानक हैआसंजन प्रमोटर, प्राइमर, और हाइड्रोफोबिक कोटिंग एजेंटसिलिकॉन वेफर लिथोग्राफी में, ऊपर के लिए लेखांकनकुल एचएमडीएस खपत का 40%. फोटोरेसिस्ट कोटिंग से पहले वाष्प चरण प्राइमर (वीपीपी) के रूप में लागू, एचएमडीएस घने हाइड्रोफोबिक ट्राइमिथाइलसिलिल परत बनाने के लिए वेफर पर सतह हाइड्रॉक्सिल समूहों (सी-ओएच) के साथ प्रतिक्रिया करता है। यह नाटकीय रूप से फोटोरेसिस्ट आसंजन में सुधार करता है, विकास के दौरान प्रतिरोध को छीलने से रोकता है, और किनारे के मनके के गठन को समाप्त करता है - जिससे सटीक बारीक सर्किट पैटर्न सुनिश्चित होता है।28nm नोड्स और नीचे.
जैसे-जैसे उन्नत सेमीकंडक्टर नोड्स 14एनएम, 7एनएम और उससे आगे बढ़ते हैं, शुद्धता की आवश्यकताएं बढ़ गई हैं5एन (99.999%) और 6एन ग्रेड, धातु की अशुद्धियों को पीपीबी-पीपीटी स्तर पर नियंत्रित किया जाता है। हमारे इलेक्ट्रॉनिक - ग्रेड एचएमडीएस उत्पाद उन्नत ट्रेस मेटल रिमूवल तकनीक का उपयोग करते हैं, जो एसएमआईसी, यांग्त्ज़ी मेमोरी, चांगक्सिन मेमोरी और यूएमसी सहित अग्रणी फैब्स के योग्यता मानकों को पूरा करते हैं।
2. फार्मास्युटिकल उद्योग - औषधि संश्लेषण के लिए सिलिलेटिंग एजेंट
फार्मास्युटिकल संश्लेषण में, एचएमडीएस का व्यापक रूप से उपयोग किया जाता हैसिलिलेटिंग एजेंटदवा मध्यवर्ती में प्रतिक्रियाशील प्रोटिक कार्यात्मक समूहों (-OH, -NH₂, -COOH) की रक्षा करना, अवांछित साइड प्रतिक्रियाओं को रोकना और प्रतिक्रिया चयनात्मकता और लक्ष्य उत्पाद उपज में उल्लेखनीय सुधार करना। यह एंटीट्यूमर, एंटीवायरल और एंटीएलर्जिक सक्रिय फार्मास्युटिकल सामग्री (एपीआई) के संश्लेषण में एक महत्वपूर्ण अभिकर्मक है।
हमारे फार्मास्युटिकल {{0}ग्रेड एचएमडीएस (99.5% से अधिक या उसके बराबर शुद्धता, जीएमपी-संगत) को अग्रणी फार्मास्युटिकल सीडीएमओ उद्यमों द्वारा मान्य किया गया है और दवा अनुसंधान एवं विकास और बड़े पैमाने पर विनिर्माण के लिए आवश्यक स्थिर बैच गुणवत्ता प्रदान करता है।
3. सामग्री एवं भूतल उपचार - हाइड्रोफोबाइजेशन एजेंट
एचएमडीएस अत्यधिक प्रभावी हैहाइड्रोफोबाइजेशन एजेंटफ्यूमेड सिलिका और टाइटेनियम डाइऑक्साइड जैसे अकार्बनिक भराव के लिए। एचएमडीएस के साथ सतह संशोधन से सिलिकॉन रबर और एपॉक्सी राल कंपोजिट में फिलर-मैट्रिक्स संगतता में काफी सुधार होता है, जिससे यांत्रिक गुणों (क्रूरता, तन्य शक्ति) और मौसम प्रतिरोध में वृद्धि होती है। इसका व्यापक रूप से ओएलईडी एनकैप्सुलेशन सामग्री और फोटोवोल्टिक मॉड्यूल ग्लास उपचार में उपयोग किया जाता है, जहां एचएमडीएस - संशोधित सतहें नमी अवरोधक प्रदर्शन में उल्लेखनीय रूप से सुधार करती हैं, जो कठोर बाहरी वातावरण में सेवा जीवन का विस्तार करती हैं।
के लिएकांच, चीनी मिट्टी और धातु की सतह का उपचार, एचएमडीएस एक सघन, सहसंयोजक रूप से बंधी हाइड्रोफोबिक फिल्म बनाता है जो नमी के अवशोषण और क्षरण को रोकता है।
4. विश्लेषणात्मक रसायन विज्ञान और ललित रसायन
विश्लेषणात्मक रसायन विज्ञान में, HMDS का उपयोग किया जाता हैव्युत्पन्न अभिकर्मकप्रोटिक यौगिकों (अल्कोहल, फिनोल, कार्बोक्जिलिक एसिड) के जीसी विश्लेषण के लिए। सिलिलेटेड डेरिवेटिव उच्च अस्थिरता और बेहतर क्रोमैटोग्राफिक पृथक्करण प्रदर्शित करते हैं, जो जटिल मैट्रिक्स में ट्रेस पदार्थों के सटीक मात्रात्मक विश्लेषण को सक्षम करते हैं।
बढ़िया रसायनों में, एचएमडीएस दैनिक रसायनों और कपड़ा छपाई में उपयोग किए जाने वाले उच्च-स्तरीय सिलिकॉन सर्फेक्टेंट और सिलिकॉन रेजिन के लिए एक मध्यवर्ती के रूप में कार्य करता है। सेमीकंडक्टर स्थानीयकरण में तेजी लाने और फार्मास्युटिकल सीडीएमओ क्षमता के विस्तार से प्रेरित होकर, इलेक्ट्रॉनिक - ग्रेड एचएमडीएस बाजार के 2026 तक 18.3% सीएजीआर से बढ़ने का अनुमान है।
5. आधार के रूप में HMDS - LiHMDS, NaHMDS और KHMDS
सिलिलेटिंग एजेंट के रूप में अपनी भूमिका से परे, एचएमडीएस व्यापक रूप से उपयोग किए जाने वाले धातु एमाइड बेस का एक प्रमुख अग्रदूत है:लीएचएमडीएस(लिथियम हेक्सामेथिलडिसिलाज़ाइड, लिथियम बीआईएस (ट्राइमेथिलसिलिल)एमाइड),NaHMDS(सोडियम हेक्सामेथिलडिसिलाज़ाइड), औरकेएचएमडीएस(पोटेशियम हेक्सामेथिलडिसिलाज़ाइड)। ये मजबूत, बाधित आधार चयनात्मक एनोलेट गठन, निर्देशित अवक्षेपण और असममित प्रतिक्रियाओं के लिए फार्मास्युटिकल और ठीक रासायनिक संश्लेषण में आवश्यक अभिकर्मक हैं जहां स्टेरिक बल्क और केमोसेलेक्टिविटी महत्वपूर्ण हैं।
लीएचएमडीएस(सीएएस 4039-32-1) सबसे व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है, इसकी उच्च बुनियादीता (टीएचएफ में पीकेए ~ 30) और ईथर सॉल्वैंट्स में उत्कृष्ट घुलनशीलता के लिए बेशकीमती है।NaHMDSऔरकेएचएमडीएसबढ़ती प्रतिक्रियाशीलता प्रदान करते हैं और इसका उपयोग वहां किया जाता है जहां LiHMDS अपर्याप्त रूप से प्रतिक्रियाशील है। इन तीनों का निर्माण प्रमुख प्रारंभिक सामग्री के रूप में एचएमडीएस से किया गया है, जो उच्च शुद्धता वाली एचएमडीएस आपूर्ति को उनके उत्पादन के लिए महत्वपूर्ण बनाता है।
हम LiHMDS, NaHMDS और KHMDS उत्पादन के लिए फीडस्टॉक के रूप में उपयुक्त उच्च शुद्धता वाले HMDS की आपूर्ति करते हैं। थोक विशिष्टताओं के लिए हमसे संपर्क करें।
एचएमडीएस कैसे बनता है? विनिर्माण प्रक्रिया
HMDS का निर्माण व्यावसायिक रूप से दो प्राथमिक मार्गों के माध्यम से किया जाता है। पारंपरिकक्लोरोसिलेन अमोनोलिसिस प्रक्रियाअतिरिक्त अमोनिया के साथ ट्राइमिथाइलक्लोरोसिलेन (TMCS) पर प्रतिक्रिया करता है: 2 (CH₃)₃SiCl + NH₃ → (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + 2 HCl। उप-उत्पाद एचसीएल को निष्प्रभावी कर दिया जाता है और कच्चे उत्पाद को बहु-स्तरीय सुधार द्वारा शुद्ध किया जाता है। एक विकल्पहरित संक्रमण प्रौद्योगिकीउत्प्रेरक स्थितियों के तहत हेक्सामेथिलडिसिलोक्सेन (एचएमडीएसओ) और अमोनिया का उपयोग करता है, क्लोराइड को उत्पादों और पर्यावरणीय प्रभाव से कम करता है।
हमारे साझेदार निर्माता मल्टी-{0}}स्टेज रेक्टिफिकेशन और आणविक छलनी सोखना शुद्धिकरण प्रणालियों के साथ निरंतर अमोनोलिसिस उत्पादन लाइनें संचालित करते हैं, जो सभी ग्रेडों में बैच से बैच तक लगातार शुद्धता प्रदान करते हैं।
एचएमडीएस भंडारण, स्थिरता और सुरक्षा प्रबंधन
भंडारण आवश्यकताएँ
ठंडी (0-25 डिग्री), सूखी, अच्छी तरह हवादार जगह पर स्टोर करेंविस्फोट-रोधी गोदामगर्मी के स्रोतों, खुली लपटों और सीधी धूप से दूर। नमी और हवा को अलग करने के लिए सभी पैकेजिंग को नाइट्रोजन से सीलबंद किया जाना चाहिए। परिवेश की नमी के संपर्क में आने पर एचएमडीएस तेजी से हाइड्रोलाइज हो जाता है। औद्योगिक ग्रेड: नाइट्रोजन -सीलबंद स्टील ड्रम। फार्मास्युटिकल और इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड: अल्ट्रा {{6}स्वच्छ नाइट्रोजन{{7}सीलबंद एचडीपीई या क्वार्ट्ज़{{8}लाइन वाले ड्रम (इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड के लिए आईएसओ 14644 स्वच्छ पैकेजिंग)। ऑक्सीडाइज़र और मजबूत एसिड से न्यूनतम 20{13}}फुट पृथक्करण या 30{18}}मिनट अग्नि{19}}रेटेड अवरोध के साथ अलग करें। अधिकतम स्टैक: 180 किलो स्टील ड्रम के लिए 2 परतें। गोदाम को विस्फोट-रोधी प्रकाश और ड्राई-पाउडर या CO₂ अग्निशामक यंत्रों से सुसज्जित करें।
स्थिरता नोट
सूखे और नाइट्रोजन के तहत संग्रहीत होने पर एचएमडीएस रासायनिक रूप से स्थिर होता है। नमी के संपर्क में आने से हाइड्रोलिसिस होता है; मजबूत एसिड या ऑक्सीडाइज़र के संपर्क में आने से हिंसक प्रतिक्रिया हो सकती है। त्वरित अस्थिरता को रोकने के लिए 30 डिग्री से ऊपर के तापमान में लंबे समय तक रहने से बचें।
सुरक्षा एवं हैंडलिंग (एसडीएस/एमएसडीएस सारांश)
पीपीई आवश्यक:स्थैतिक रोधी कपड़े, नाइट्राइल रबर के दस्ताने (उच्च जोखिम वाले संचालन के लिए ट्रिपल परत), रासायनिक सुरक्षा चश्मा, चेहरा ढाल, और कार्बनिक वाष्प श्वासयंत्र (सीमित स्थानों के लिए एससीबीए)। ऑपरेशन के दौरान खाना, पीना या धूम्रपान नहीं करना चाहिए।
स्पिल प्रतिक्रिया:तुरंत इग्निशन स्रोतों को काटें, विपरीत दिशा में खाली करें। स्पिल क्षेत्र को अलग करें. सूखी रेत या सोडा ऐश के साथ सोखें - पानी का उपयोग न करें। निपटान के लिए अवशोषित सामग्री को सीलबंद कंटेनरों में स्थानांतरित करें। इसे सीवर या मिट्टी में न बहाएं।
प्राथमिक चिकित्सा:त्वचा - दूषित कपड़ों को हटा दें, 15 मिनट से अधिक या उसके बराबर साबुन और पानी से धोएं। आंखें 15 मिनट से अधिक या उसके बराबर तक पानी से भर जाती हैं, चिकित्सा सहायता लेनी पड़ती है। साँस लेते हुए तुरंत ताजी हवा में जाएँ। अंतर्ग्रहण - से उल्टी नहीं होती; आपातकालीन चिकित्सा देखभाल लें। पूर्ण एसडीएस/एमएसडीएस पीडीएफ हमारी बिक्री टीम से उपलब्ध है।
एचएमडीएस मूल्य - 2025 बाजार संदर्भ
एचएमडीएस कीमत(हेक्सामेथिलडिसिलज़ेन कीमत) शुद्धता ग्रेड, पैकेजिंग विनिर्देश और ऑर्डर मात्रा के अनुसार काफी भिन्न होती है। चीन के मूल उत्पाद (उदाहरण के लिए कार्य के आधार पर) के लिए 2025 के सांकेतिक संदर्भ मूल्य निम्नलिखित हैं:
98.0% से अधिक या उसके बराबर
99.5% से अधिक या उसके बराबर
99.999% से अधिक या उसके बराबर (5N)
एचएमडीएस के बारे में अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न
प्रश्न: एचएमडीएस का क्या अर्थ है? HMDS का फुल फॉर्म क्या है?
HMDS का मतलब हैहेक्सामेथिलडिसिलाज़ेन- पूरा रासायनिक नाम 1,1,1,3,3,3-हेक्सामेथिलडिसिलाज़ेन है, जिसे हेक्सा मिथाइल डिसिलाज़ेन भी लिखा जाता है। रसायन विज्ञान में, HMDS विशेष रूप से संरचना (CH₃)₃Si-NH-Si(CH₃)₃ के साथ इस ऑर्गेनोसिलिकॉन यौगिक (CAS 999-97-3) को संदर्भित करता है। ध्यान दें: "HMDS" का उपयोग असंबद्ध क्षेत्रों (उदाहरण के लिए, चिकित्सा, सैन्य, या कृषि संदर्भ) में एक संक्षिप्त नाम के रूप में भी किया जाता है, लेकिन रसायन विज्ञान और अर्धचालक विनिर्माण संदर्भों में, HMDS का अर्थ हमेशा हेक्सामेथिलडिसिलज़ेन होता है।
प्रश्न: सेमीकंडक्टर निर्माण में एचएमडीएस का उपयोग किस लिए किया जाता है?
एचएमडीएस का उपयोग फोटोरेसिस्ट कोटिंग से पहले सिलिकॉन वेफर सतहों पर लगाए जाने वाले वाष्प {{0} चरण आसंजन प्रमोटर (प्राइमर) के रूप में किया जाता है। यह सतह Si-OH समूहों के साथ प्रतिक्रिया करके एक हाइड्रोफोबिक ट्राइमिथाइलसिलिल मोनोलेयर बनाता है, जो फोटोरेसिस्ट आसंजन में नाटकीय रूप से सुधार करता है, गीले विकास के दौरान प्रदूषण को रोकता है, और ठीक सर्किट पैटर्न की आयामी सटीकता सुनिश्चित करता है। यह वैश्विक स्तर पर लगभग हर सिलिकॉन वेफर फैब में एक मानक प्रक्रिया सामग्री है, जिसमें विरासत 200 मिमी से लेकर अग्रणी 300 मिमी ईयूवी लिथोग्राफी लाइनें शामिल हैं।
प्रश्न: औद्योगिक ग्रेड और इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड एचएमडीएस के बीच क्या अंतर है?
औद्योगिक ग्रेड (98.0% से अधिक या उसके बराबर) फिलर्स (धूमयुक्त सिलिका, TiO₂), कोटिंग्स, और सामान्य सिलिलेशन अनुप्रयोगों के सतह उपचार के लिए उपयुक्त है जहां ट्रेस धातु सामग्री महत्वपूर्ण नहीं है। इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड (99.999% से अधिक या उसके बराबर, 5एन) के लिए सेमीकंडक्टर लिथोग्राफी के लिए 1 पीपीबी - से नीचे व्यक्तिगत धातु की अशुद्धियों की आवश्यकता होती है, जहां उप-{6}}पीपीबी धातु संदूषण डिवाइस विफलताओं का कारण बन सकता है। इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड को क्वार्ट्ज़ में अल्ट्रा {{8} क्लीन आईएसओ 14644 शर्तों के तहत पैक किया जाता है या प्रमाणित अल्ट्रा - क्लीन स्टील ड्रम में पैक किया जाता है, प्रत्येक बैच के साथ एक पूर्ण आईसीपी - एमएस ट्रेस मेटल रिपोर्ट होती है।
प्रश्न: एचएमडीएस पानी के साथ प्रतिक्रिया क्यों करता है, और इसे कैसे संग्रहित किया जाना चाहिए?
एचएमडीएस में एक Si-N-Si बंधन होता है जो हाइड्रोलिसिस के लिए अतिसंवेदनशील होता है: (CH₃)₃Si-NH-Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH + NH₃। जारी अमोनिया सीलबंद कंटेनरों में दबाव बनाता है, और परिणामस्वरूप हेक्सामेथिलडिसिलोक्सेन (एचएमडीएसओ) उत्पाद को दूषित करता है। इसलिए सभी ग्रेडों को किसी भी नमी स्रोत से दूर, 0-25 डिग्री पर, सीलबंद कंटेनरों में सूखे नाइट्रोजन के तहत संग्रहित किया जाना चाहिए। खुले कंटेनरों को प्रत्येक उपयोग के बाद तुरंत पुनः सील कर दिया जाना चाहिए और नाइट्रोजन से ढक दिया जाना चाहिए।
प्रश्न: एचएमडीएस क्या है और यह एचएमडीएसओ से किस प्रकार भिन्न है?
HMDS (हेक्सामेथिलडिसिलाज़ेन, CAS 999-97-3) में Si-N-Si लिंकेज होता है और यह सक्रिय सिलिलेटिंग अभिकर्मक है। एचएमडीएसओ (हेक्सामेथिलडिसिलोक्सेन, सीएएस 107-46-0) में सी-ओ-सी लिंकेज होता है और यह एचएमडीएस का हाइड्रोलिसिस उप-उत्पाद है - यह बहुत कम प्रतिक्रियाशील है। एचएमडीएस का उपयोग रासायनिक सतह संशोधक और सिलिलेशन अभिकर्मक के रूप में किया जाता है; एचएमडीएसओ का उपयोग मुख्य रूप से एचएमडीएस संश्लेषण के लिए गैर-प्रतिक्रियाशील सिलिकॉन द्रव और कच्चे माल के रूप में किया जाता है। लिथोग्राफी या फार्मास्युटिकल प्रक्रियाओं के लिए सामग्री निर्दिष्ट करते समय दोनों को भ्रमित नहीं किया जाना चाहिए।
प्रश्न: मुझे एचएमडीएस आपूर्तिकर्ता से किन प्रमाणपत्रों की आवश्यकता होनी चाहिए?
औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए: ISO 9001 (गुणवत्ता प्रबंधन) और ISO 14001 (पर्यावरण)। फार्मास्युटिकल ग्रेड के लिए: जीएमपी अनुपालन, यूएसपी/ईपी संदर्भित सीओए और तृतीय पक्ष क्यूसी रिपोर्ट प्रदान करने की क्षमता। इलेक्ट्रॉनिक ग्रेड के लिए: डाउनस्ट्रीम सेमीकंडक्टर फैब योग्यता की पुष्टि (उदाहरण के लिए, एसएमआईसी, यूएमसी प्रमाणन), एसईएमआई एफ47 या समकक्ष सामग्री मानकों का अनुपालन, प्रति बैच पूर्ण आईसीपी - एमएस ट्रेस धातु रिपोर्ट, और आईएसओ 14644-प्रमाणित स्वच्छ पैकेजिंग। सभी ग्रेडों में अंतर्राष्ट्रीय निर्यात के लिए वर्तमान REACH और TSCA पंजीकरण होना चाहिए।
प्रश्न: क्या होता है जब HMDS पानी के साथ प्रतिक्रिया करता है?
एचएमडीएस हाइड्रोलिसिस के माध्यम से पानी के साथ तेजी से प्रतिक्रिया करता है: (CH₃)₃Si–NH–Si(CH₃)₃ + H₂O → 2 (CH₃)₃SiOH → (CH₃)₃Si–O–Si(CH₃)₃ + NH₃। उत्पाद हेक्सामेथिलडिसिलोक्सेन (एचएमडीएसओ) और अमोनिया हैं। यह प्रतिक्रिया ऊष्माक्षेपी होती है और अमोनिया गैस उत्पन्न करती है, जो सीलबंद कंटेनरों में दबाव बनाती है और उत्पाद की शुद्धता को कम करती है। यही कारण है कि औद्योगिक - सहित सभी एचएमडीएस ग्रेड - को हर समय सूखी नाइट्रोजन के तहत संग्रहित और संभाला जाना चाहिए। विस्तारित भंडारण अवधि के दौरान परिवेश की आर्द्रता भी धीमी हाइड्रोलिसिस शुरू कर सकती है।
प्रश्न: एचएमडीएस के मुख्य विकल्प क्या हैं और एचएमडीएस को कब प्राथमिकता दी जाती है?
सामान्य सिलिलेटिंग एजेंट विकल्पों में ट्राइमिथाइलक्लोरोसिलेन (टीएमसीएस), एन - मिथाइल - एन - ट्राइमिथाइलसिलिलैसिटामाइड (एमएसए), और एन, ओ {{3} बीआईएस (ट्राइमेथाइलसिलिल) एसिटामाइड (बीएसए) शामिल हैं। एचएमडीएस को तब प्राथमिकता दी जाती है जब हल्की प्रतिक्रिया की स्थिति की आवश्यकता होती है (उत्पाद द्वारा कोई एचसीएल नहीं), जब उच्च सिलिलेशन उपज महत्वपूर्ण होती है, या जब प्रक्रिया को अम्लीय या संक्षारक द्वारा न्यूनतम संदूषण की आवश्यकता होती है {{6}उत्पाद - जो इसे सेमीकंडक्टर वेफर उपचार और फार्मास्युटिकल संश्लेषण के लिए मानक विकल्प बनाता है। थोक औद्योगिक हाइड्रोफोबाइजेशन के लिए जहां लागत प्राथमिक चालक है, टीएमसीएस का उपयोग कम लागत वाले विकल्प के रूप में किया जा सकता है।
उद्योग संदर्भ एवं मानक
व्यापक भौतिक रसायन गुण, विष विज्ञान डेटा, जीएचएस वर्गीकरण और नियामक जानकारी।
सेमीकंडक्टर सामग्री शुद्धता विनिर्देशों और योग्यता प्रोटोकॉल के लिए अंतर्राष्ट्रीय मानक निकाय।
आधिकारिक ईयू पहुंच डोजियर: खतरे का वर्गीकरण, जोखिम परिदृश्य और नियामक स्थिति।
विश्लेषणात्मक और उच्च शुद्धता वाले अभिकर्मकों के लिए वैश्विक प्राधिकरण; एचएमडीएस गुणवत्ता बेंचमार्किंग के लिए संदर्भ मानक।
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